国家知识产权局信息显示，华芯极光（上海）科技有限公司申请一项名为“一种等离子体极紫外辐射能量和时域波形测量方法和装置”的专利，公开号CN121038075A，申请日期为2025年9月。

　　专利摘要显示，本发明提供一种等离子体极紫外辐射能量和时域波形测量方法和装置，涉及半导体制造技术领域，所述方法包括：对所述极紫外波段辐射光进行波长选择处理，以分离出单一波长的极紫外光，并对所述单一波长的极紫外光进行会聚，以得到经过会聚的单一波长的极紫外光；将经过会聚的单一波长的极紫外光进行光电转换处理，生成对应的电流信号；对所述电流信号进行采集和处理，根据所述电流信号的时域波形获得所述单一波长极紫外光的时域波形，并根据所述电流信号的积分强度及所述测量立体角计算出等离子体在2π立体角内所述单一波长极紫外光的辐射能量。本发明可同时测量等离子体单一波长极紫外辐射能量和时域波形。

　　天眼查资料显示，华芯极光（上海）科技有限公司，成立于2025年，位于上海市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，华芯极光（上海）科技有限公司共对外投资了1家企业。

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